微型履帶挖掘機氣缸體及氣缸套的穴蝕破壞，就會引起裂紋甚至產生通孔，最后導致冷卻水進入氣缸和機油中，然后顯著降低了柴油機的壽命及工作可靠性。

微型履帶挖掘機氣缸產生穴蝕的主要原因是氣缸套的振動。當活塞到達上止點的時候，側壓力的作用方向發生另外變化，活塞從缸套的一面橫擺到另外對面，就出現了活塞擺的現象。由于活塞跟缸套之間留有熱間隙，所以活塞的擺動還是有沖擊性的。這種沖擊引起缸套的強烈振動。

當微型履帶挖掘機氣缸缸套壁振動時，水腔中發生交替的拉伸和壓縮，從而使外壁附近的水域中產生局部的高壓和真空泡。在高真空的作用下，冷卻水蒸發成氣泡，有的真空泡和氣泡發生在氣缸套外壁微小的針孔中，或者是在振動的作用下被擠入針孔。

當微型履帶挖掘機氣缸真空泡或氣泡受到高壓沖擊而破裂時，就在破裂區附近產生壓力沖擊波，其壓力可達數十大氣壓并沖擊氣缸外壁，這樣頻繁的反復沖擊，就使缸套表面急劇損壞。我們為了防止穴蝕，目前最常用的方法是：減小微型履帶挖掘機氣缸與活塞之間的間隙，從而減小缸套的振動;采用長的活塞裙部;加大冷卻水流速，改進水流方向及冷卻系的結構;增加氣缸套的支承剛度;改進氣缸套的材料及工藝，以提高其抗穴蝕能力等等。